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潔凈室的性能監(jiān)測

更新時間:2020-01-13  |  點擊率:1788

為了在潔凈室運行過程中及時了解與判定潔凈室所處狀態(tài)是否符合設(shè)計要求和滿足生產(chǎn)的需要,潔凈室應(yīng)定期對其主要技術(shù)性能指標(biāo)進行周期性監(jiān)測,某些高級別潔凈室對一些關(guān)鍵性指標(biāo)甚至設(shè)置了連續(xù)巡查的裝置,以便及時判定潔凈室的受控狀態(tài)。
1、(表1:)標(biāo)準(zhǔn)ISO 14644-2的規(guī)定

備注:這些測試可按照規(guī)定的ISO等級在動態(tài)或靜態(tài)條件下進行;
a.氣流量可用風(fēng)速或風(fēng)量測量方法測得。
b.本項測試不適用于非全封閉的潔凈區(qū)。
除上表規(guī)定的標(biāo)準(zhǔn)測試外,ISO 14644-2還給出了任選項目的測試,下表所列的任選項目測試也可包括在測試項目中。
(表2:)任選項目測試的時間間隔:
 
ISO 14644-2對潔凈室監(jiān)測還作出了如下一些補充規(guī)定:
(1)除表1所列的標(biāo)準(zhǔn)監(jiān)測項目外,用戶與承包商可共同商定增添其他的測試項目。
(2)如果潔凈室裝置了懸浮粒子濃度和壓差的監(jiān)測儀表,并連續(xù)或頻繁的進行監(jiān)測,且監(jiān)測結(jié)果始終處于規(guī)定的限制以內(nèi),則可延長表1所列的時間間隔。
(3)如果監(jiān)測數(shù)據(jù)出現(xiàn)超過規(guī)定限制的情況,標(biāo)明潔凈室不符合要求,要及時采取適當(dāng)?shù)难a救措施,補救措施完成后應(yīng)對潔凈室進行再認定,若符合要求,就可以恢復(fù)例行監(jiān)測。
(4)懸浮粒子濃度及其它參數(shù)的例行監(jiān)測一般是在動態(tài)下進行。
(5)懸浮粒子的監(jiān)測計劃是根據(jù)潔凈室的風(fēng)險分析與評估制定的。該計劃中應(yīng)該包括的內(nèi)容有:預(yù)先設(shè)定的采樣裝置,每個空氣樣本的小采樣量、采樣的時間長短、采樣的時間間隔、測量的粒徑、計數(shù)的許可限制。如果需要還可包括報警值、行動限制、漂移值。
2、國家標(biāo)準(zhǔn)GB 50073-2001關(guān)于監(jiān)測的規(guī)定
GB 50073-2001對潔凈室的監(jiān)測作了如下規(guī)定,確認潔凈室或潔凈區(qū)符合規(guī)范要求應(yīng)進行三項測試:
(1)空氣潔凈度測定(生物潔凈室應(yīng)進行浮游菌、沉降菌測定);
(2)靜壓差測試;
(3)風(fēng)速或風(fēng)量測試。
三項測試的長時間間隔分別列于下表3和表4中。
(表3:)空氣潔凈度等級認證的測試要求

(表4:)靜壓差和風(fēng)速(風(fēng)量)認證的測試要求

備注:如果潔凈室或潔凈區(qū)已對粒子濃度、風(fēng)速、靜壓差執(zhí)行連續(xù)監(jiān)測,并且其測試值均符合本規(guī)范要求,則認證的測試時間間隔可延長。具體間隔時間,可與認證單位洽商。
a.空氣潔凈度等級認證,可在靜態(tài)或動態(tài)檢測,洽商確定。
b.風(fēng)量測定,用風(fēng)速計在風(fēng)口或風(fēng)管測定。
c.該項測試不適用于潔凈區(qū)。


 

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