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潔凈室用檢測儀器--特殊測量儀器

更新時間:2020-06-01  |  點擊率:1724

1、振動儀
振動儀主要是用于測定潔凈室地基的振動,一般靈敏度較高,量程較小,多數(shù)屬于微米級。振動儀的主要參數(shù)是振幅和頻率。
2、氣體濃度測試儀
氣體濃度測試儀是一個大類,不同的氣體有不同的測試儀器,同一種氣體也有不同的測試儀器,不同的濃度往往需要不同的測試儀器,所以只能具體問題具體分析。概括的講,氣體濃度測試方法分為兩大類:
一類是使用直讀儀器,也就是使用能直接讀出氣體濃度數(shù)值的儀器。這種儀器一般是由化學(xué)傳感器和數(shù)字顯示系統(tǒng)組成,現(xiàn)場檢測,直接讀出氣體濃度。這種儀器的特點是使用方便、速度快,但往往靈敏度不高,壽命較短。
另一類是采樣后用儀器分析,也就是先用采樣器采取氣體樣品,帶回實驗室后用儀器進行分析,獲得氣體濃度的數(shù)據(jù)。采樣的方式分為兩大類:一類是直接采取被檢測的氣體;另一類是將需要檢測的氣體吸收到用化學(xué)試劑配制的液體中,有時吸收液還要經(jīng)過一系列的化學(xué)處理,才能送入儀器中分析。此類測試方法的特點是操作比較麻煩,速度較慢,但一般靈敏度較高、可靠性較強。
3、氣溶膠發(fā)生器
氣溶膠發(fā)生器實際上是一種能向氣體中發(fā)散顆粒物的設(shè)備。潔凈行業(yè)習(xí)慣將含有顆粒物的氣體稱為氣溶膠,所以將向氣體中發(fā)散顆粒物的設(shè)備稱為氣溶膠發(fā)生器。如果發(fā)散顆粒物是標(biāo)準(zhǔn)的則稱為“標(biāo)準(zhǔn)顆粒發(fā)霧器”。能夠制造標(biāo)準(zhǔn)顆粒,并且直接將標(biāo)準(zhǔn)顆粒發(fā)散到超凈氣體中的設(shè)備稱為“標(biāo)準(zhǔn)顆粒發(fā)生器”。
4、靜電測試儀
靜電測試儀有許多種類,例如靜電電壓計、高阻電阻計、充電板監(jiān)測儀等。
5、顯微鏡
顯微鏡是檢測顆粒尺度直觀的儀器,所以標(biāo)準(zhǔn)顆粒盡量使用顯微鏡進行標(biāo)定。顯微鏡的種類繁多,比較可靠的是光學(xué)顯微鏡和電子顯微鏡。
(1)光學(xué)顯微鏡
光學(xué)顯微鏡有三大類:一類是生物顯微鏡。其特點是光線透過樣品成像,可以理解為是透射式光學(xué)顯微鏡。主要應(yīng)用于生物、醫(yī)學(xué)行業(yè),所以稱為生物顯微鏡。二類是金相顯微鏡,特點是使用樣品的反射光成像,可以理解為是反射式光學(xué)顯微鏡。主要應(yīng)用于冶金、機械行業(yè),所以稱為金相顯微鏡。三類是巖相顯微鏡,特點是使用偏振光成像,可以理解為是偏振光學(xué)顯微鏡。主要應(yīng)用于巖石、礦物行業(yè),所以稱為巖相顯微鏡。
光學(xué)顯微鏡的優(yōu)點是:放大倍數(shù)穩(wěn)定,操作比較簡單;缺點是:放大倍數(shù)、分辨力都不高,不能用于測定小的顆粒。光學(xué)顯微鏡一般只能看到不小于0.5um的顆粒,能夠檢測不小于5um的直徑。對于小顆粒需要使用電子顯微鏡。
(2)電子顯微鏡
電子顯微鏡就是使用電子成像的顯微鏡。電子顯微鏡有許多種類,其中常用和比較成熟的有兩大類:透射電子顯微鏡和掃描電子顯微鏡。
1)透射電子顯微鏡。透射電子顯微鏡的成像原理類似于生物顯微鏡,只是用電子代替了可見光,用電磁透鏡代替了玻璃透鏡。透射電子顯微鏡可以將物體放大上百萬倍,可以看到小于1nm的物體,用于測量顆粒物綽綽有余。用顯微鏡測量物體的尺度,需要有長度標(biāo)準(zhǔn)器具,長度標(biāo)準(zhǔn)器具的形狀和分度需要穩(wěn)定。然而透射電子顯微鏡是使用電子透過樣品成像,電子的穿透能力很差,即使是10萬伏電壓加速的電子,也不能穿透100nm厚的物體。厚度小于100nm的物體非常柔嫩,即使是鋼鐵或礦石,也會像塑料薄膜那樣隨風(fēng)漂浮,其形狀和尺度都不穩(wěn)定。因此,直到現(xiàn)在還沒有合理合法可供透射電子顯微鏡使用的長度標(biāo)準(zhǔn)器具,所以還不具備用透射電子顯微鏡測量標(biāo)準(zhǔn)顆粒尺度的充分條件。
2)掃描電子顯微鏡。掃描電子顯微鏡有點像金相顯微鏡,成像電子不穿過樣品。掃描電子顯微鏡是用高能電子照射樣品,激發(fā)樣品發(fā)射二次電子,利用二次電子成像。由于二次電子的能量較小,運動的速度較慢,不能像金相顯微鏡或透射電子顯微鏡那樣聚焦成像,只能通過逐點掃描,點點對應(yīng)成像。掃描電子顯微鏡的放大倍數(shù)和分辨力雖然沒有透射電子顯微鏡高,但是也能放大幾十萬倍,可以看到幾個納米的物體,用于測量大于10nm的顆粒物是可行的。更重要的是:掃描電子顯微鏡可以觀察很厚的樣品,容易制造長度標(biāo)準(zhǔn)器具。已有合理合法的供掃描電子顯微鏡使用的長度標(biāo)準(zhǔn)器具。

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