一、靜電的危害
1、吸塵：生產(chǎn)過程中，由于靜電吸附作用，塵粒易吸附在器件和設備表面，影響產(chǎn)品質(zhì)量，造成故障。
2、電暈放電：電暈放電時，往往伴隨著電暈噪聲，對微電子設備均會造成干擾。電暈放電會嚴重影響MOS電路和雙極性集成電路的產(chǎn)品質(zhì)量。
3、引起火災或爆炸。
4、人體帶靜電會引起電擊。
二、靜電的消除
靜電是難控制的因素之一，靜電可以使半導體器件生產(chǎn)中的廢品增多、降低電子設備的可靠性。實踐證明，在半導體器件的制造和測試過程中、在運輸和儲存中、在設備的安裝和調(diào)試以及使用過程中，半導體器件都可能受到靜電的作用。因此，在半導體器件的生產(chǎn)中，實際上所有的制造階段都需要防止靜電對器件的作用。
消除靜電的方法很多，對有防靜電環(huán)境要求的潔凈室工程，常用以下幾種方法：
1、選用合適的材料
采用不易產(chǎn)生靜電或產(chǎn)生靜電后能較快泄漏的材料，多種材料共同使用時，應選用在電序列表中位置接近的材料。
所有的材料均可歸入電的導體或電的絕緣體。導體是電流能夠通過的材料，絕緣體是電流不能通過的材料。
導體由于其本身的電特性（電阻率）有著很大的差異，故又可進一步分為良導體（即通常的導體）和不良導體（即耗散材料），兩者均具有維持電流的能力而區(qū)別于絕緣體。
Ω.cm是電阻率的測量單位，它的定義是一個邊長1m的立方體樣本維持單位電流所需的電壓值。
Ω/sq是表面電阻率的測量范圍，其定義是單位電流通過正方形材料樣本所需的電壓。
（1）導電材料。導電材料是指表面電阻率小于1*10⁵Ω/sq或體積電阻率小于1*10⁴Ω.cm的材料。
（2）耗散材料。耗散材料是指表面電阻率大于等于1*10⁵Ω/sq，但小于1*10¹²Ω/sq或體積電阻率大于等于1*10⁴Ω.cm但小于1*10¹¹Ω.cm的材料。
與導電材料相比，耗散材料的電荷流動速度更緩慢，但在某種程度上更容易受控。耗散材料可用于靜電放電的控制，因其放電速度緩慢，可以避免對生產(chǎn)的微結(jié)構(gòu)如光刻工藝造成損傷。
上面提到的靜電引力和污染控制問題只是靜電造成的負面影響的一個方面，另外，靜電電荷從一個物體到另一個物體的釋放也會造成靜電損傷。靜電放電可以表現(xiàn)為電過載或瞬時釋放能量的放電形式，使產(chǎn)品受到實質(zhì)性的損傷。
（3）絕緣材料。絕緣材料是表面電阻率大于1*10¹²Ω/sq或體積電阻率大于1*10¹¹Ω.cm的材料。絕緣體消散靜電的能力很差，甚至可以忽略不計。因此，對特別好的絕緣體，如石英等接地不會起到任何作用。
2、接地
接地是帶電導體消除靜電較普遍、經(jīng)濟、簡便、可靠的方法。
（1）潔凈室內(nèi)可能產(chǎn)生靜電危害的設備、流動液體、氣體或粉體管道應采取防靜電接地措施。
（2）電子工業(yè)潔凈室的圍護結(jié)構(gòu)應采用防靜電裝飾，可以抑制塵埃的帶電吸附。
（3）工藝設備接地。
（4）辦公設備應采用能防靜電的材料制成并接地。
（5）工作人員應穿戴防靜電的無塵衣、鞋、手套、腕帶等。
（6）凈化空調(diào)系統(tǒng)的送、回風口和風管管壁是易于產(chǎn)生靜電的部位，在防靜電環(huán)境中，這些部件的材料除了使用導電材料外，還應接地。
3、中和
將帶電體（靜電）周圍的空氣離子化后，帶電的離子在電磁場作用下發(fā)生遷移，帶電體吸引異性電荷達到中和而消除靜電。
靜電消除器是一種能產(chǎn)生電子和離子的裝置，它產(chǎn)生的電子、離子與帶電體上的異性電荷中和，從而消除靜電。絕緣材料表面所帶的靜電荷、空氣中的靜電荷必須用靜電中和的辦法來消除。
4、濕度控制
在眾多消除靜電的方法中，室內(nèi)濕度控制也被認為可以用來減少和消除潔凈室靜電。通過在環(huán)境中保持高的相對濕度，在該區(qū)域內(nèi)物體的表面將形成薄薄的濕氣層，利用這一薄層來提供導電的通道，使得可能產(chǎn)生的電荷流過該濕氣層耗散靜電荷。另外，薄薄的濕氣層可以增加物體表面的潤滑性，摩擦生電也將減少。一般來說，濕度越低，產(chǎn)生的電荷越多。但是資料表明，甚至在濕度高時也會產(chǎn)生顯著的靜電電壓。